반도체 소자의 검사 방법

A METHOD FOR INSPECTING THE SEMICONDUCTOR DEVICE

• 출원번호

  10-2013-0010680

• 출원일

  2013-01-30

• 등록번호

  10-1380372

• 등록일

  2014-03-26

본 발명은 반도체 소자의 검사 방법에 관한 것으로, 반도체 소자 중 검사 영역에 해당하는 일부 영역을 선택적으로 시닝(thinning)하는 시닝 단계 그리고, 상기 검사 영역에 광을 조사하여 상기 검사 영역 내부의 결함 여부를 검사하는 검사 단계를 포함하는 반도체 소자 검사 방법을 제공한다. 본 발명에 의할 경우, 모니터링 창을 이용하여 반도체 소자 내부의 상태를 높은 분해능으로 검사하는 것이 가능하므로, 제품 개발시 결함 발생 원인을 분석할 수 있고, 이로 인해 신뢰성 있는 제품을 생산하는 것이 가능하다.

완전 동형 암호화된 데이터를 위한 신경망 네트워크에서의 계층별 다항식의 차수 조절 방법

METHOD FOR ADJUSTING ORDER OF POLYNOMIAL BY LAYER IN NEURAL NETWORK FOR FULLY HOMOMORPHIC ENCRYPTED DATA

• 출원번호

  10-2023-0148473

• 출원일

  2023-10-31

• 공개번호

  10-2025-0018060

• 공개일

  2025-02-04

동형 암호화된 데이터의 뉴럴 네트워크 연산을 수행하는 연산 방법이 개시된다. 일 실시예에 따른 연산 방법은 상기 뉴럴 네트워크 연산을 수행하기 위한 데이터 및 뉴럴 네트워크 연산에 대응하는 근사 다항식을 생성하기 위한 파라미터를 수신하는 단계, 데이터에 기초하여 뉴럴 네트워크를 구성하는 복수의 레이어들 각각에 대응하는 레이어 정보를 획득하는 단계, 파라미터 및 레이어 정보에 기초하여, 복수의 레이어들 각각에 대응하는 레이어 중요도를 결정하는 단계, 레이어 중요도에 기초하여, 복수의 레이어들 별로 뉴럴 네트워크 연산을 근사하는 근사 다항식을 생성하는 단계 및 근사 다항식에 기초하여 뉴럴 네트워크 연산을 수행함으로써 연산 결과를 생성하는 단계를 포함한다.

이온 포획 장치의 제조방법 및 이온 포획 장치에 사용되는 전극의 제조방법

PRODUCING METHOD FOR ION TRAPPING DEVICE AND PRODUCING METHOD FOR ELECTRODE USED IN ION TRAPPING DEVICE

• 출원번호

  10-2024-0054309

• 출원일

  2024-04-23

• 공개번호

  10-2024-0095093

• 공개일

  2024-06-25

본 발명은 이온 포획 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 양자 컴퓨팅에 사용되는 이온 포획 장치에 관한 것이다. 본 발명의 한가지 측면에 따른 이온 포획 장치의 제조방법은, 각각 가상의 중심축의 반경 방향 및 상기 중심축 방향으로 연장하는 제1 RF 전극, 제1 DC 전극, 제2 RF 전극 및 제2 DC 전극을 가상의 중심축의 둘레방향으로 순서대로 배치하는 단계; 및 상기 제1 RF 전극, 상기 제1 DC 전극, 상기 제2 RF 전극 및 상기 제2 DC 전극을 경계로 하여 구분되는 4개의 공간 중 하나의 공간에서 상기 중심축 방향으로 연장하는 봉 형상의 한 쌍의 보상 전극을 배치하는 단계를 포함하고, 상기 제1 DC 전극 및 상기 제2 DC 전극은 각각 전기적으로 절연된 복수개의 세그먼트를 포함하는 것일 수 있다.

반도체 제조 공정 폐수 처리 시스템 및 이를 이용한 반도체 제조 공정 폐수 처리 방법

Treatment apparatus for semiconductor manufacturing process wastewater and treatment method for semiconductor manufacturing process wastewater using the same

• 출원번호

  10-2021-0118678

• 출원일

  2021-09-06

• 공개번호

  10-2023-0036604

• 공개일

  2023-03-15

• 등록번호

  10-2560777

• 등록일

  2023-07-24

반도체 공정 챔버에서 배출된 폐수를 1차 농축하는 것; 및 상기 1차 농축에 의해 농축된 상기 폐수의 적어도 일부인 농축 폐수를 2차 농축하는 것; 을 포함하되, 상기 폐수를 상기 1차 농축하는 것은, 제1 전기투석 장치에서 상기 폐수를 제1 처리수와 이온 교환시키는 것을 포함하고, 상기 농축 폐수를 상기 2차 농축하는 것은: 상기 농축 폐수를 제2 전기투석 장치에서 순환시키는 것; 제2 처리수를 상기 제2 전기투석 장치에서 순환시키는 것; 상기 제2 전기투석 장치의 양극과 음극에 전원을 인가하여, 상기 제2 전기투석 장치에서 순환하는 상기 농축 폐수를 상기 제2 처리수와 이온 교환시키는 것; 및 상기 제2 전기투석 장치에서 순환하는 상기 농축 폐수의 일부를 상기 제2 처리수에 합류시키는 것; 을 포함하는 반도체 제조 공정 폐수 처리 방법이 제공된다.

스타형 블록 공중합체 및 선형 블록 공중합체를 포함하는 역전된 실린더 구조의 고분자 블렌드 및 그의 제조방법

INVERTED CYLINDRICAL STRUCTURE POLYMER BLEND COMPRISING STAR-SHAPED BLOCK COPOLYMER AND LINEAR BLOCK COPOLYMER AND METHOD OF PREPARING SAME

• 출원번호

  10-2021-0032633

• 출원일

  2021-03-12

• 공개번호

  10-2022-0128058

• 공개일

  2022-09-20

• 등록번호

  10-2448576

• 등록일

  2022-09-23

스타형 블록 공중합체 및 선형 블록 공중합체를 포함하는 역전된 실린더 구조의 고분자 블렌드 및 그의 제조방법이 개시된다. 매트릭스 및 상기 매트릭스 내에 위치하는 마이크로 도메인을 포함하는 고분자 블렌드에 있어서, 상기 고분자 블렌드는 제1 단량체 블록 및 상기 제1 단량체 블록에 연결된 제2 단량체 블록을 포함하는 팔(arm)을 n(n은 3 내지 9의 정수 중 어느 하나)개 포함하는 스타형 블록 공중합체; 및 제1 단량체 블록 및 상기 제1 단량체 블록에 연결된 제2 단량체 블록을 포함하는 선형 블록 공중합체;를 포함하고, 상기 매트릭스는 상기 스타형 블록 공중합체의 상기 제1 단량체; 및 상기 선형 블록 공중합체의 상기 제1 단량체 블록;을 포함하고, 상기 마이크로 도메인은 상기 스타형 블록 공중합체의 상기 제2 단량체; 및 상기 선형 블록 공중합체의 상기 제2 단량체 블록;을 포함하는 것이고, 상기 고분자 블렌드는 부피 비율이 높은(약 71%) 단량체 블록이 매트릭스가 아닌 마이크로 도메인(실린더)을 형성함으로써 블록 공중합체의 부피 한계를 극복할 수 있다.

강유전체 트랜지스터의 제조방법 및 이를 이용하여 제조한 강유전체 트랜지스터

Manufacturing method of ferroelectric transistors and ferroelectric transistors fabricated by using the same

• 출원번호

  10-2020-0010550

• 출원일

  2020-01-29

• 등록번호

  10-2283203

• 등록일

  2021-07-23

본 발명의 일 관점에 따른 강유전체 트랜지스터의 제조방법은, 게이트 전극층 상에 ALD(Atomic Layer Deposition) 공정을 이용하여 강유전체층을 형성하는 단계; 상기 강유전체층의 강유전 특성을 유도하기 위해, 상기 강유전체층 상에 캡핑층(capping layer)을 증착하여 강유전체 캡핑 구조체를 형성하는 단계; 상기 강유전체 캡핑 구조체를 열처리하는 단계; 열처리된 상기 강유전체 캡핑 구조체에 구비된 상기 캡핑층을 식각하여 상기 강유전체층의 상면을 외부로 노출시키는 단계; 노출된 상기 강유전체층 상에 산화물 반도체층을 형성하는 단계; 및 상기 산화물 반도체층 상에 소스 전극 및 드레인 전극을 각각 형성하는 단계;를 포함한다.

무선 통신 시스템에서 주파수 효율 개선을 위한 DFT-s-OFDM 송신기 및 송신 방법, 및, 수신기 및 수신 방법

DFT-s-OFDM TRANSMISSION APPARATUS AND METHOD, AND DFT-s-OFDM RECEPTION APPARATUS AND METHOD FOR SPECTRAL EFFICIENCY IMPROVEMENT IN WIRELESS COMMUNICATION SYSTEM

• 출원번호

  10-2018-0142539

• 출원일

  2018-11-19

• 공개번호

  10-2020-0058044

• 공개일

  2020-05-27

• 등록번호

  10-2139720

• 등록일

  2020-07-24

본 발명의 일 양태는 무선통신 시스템에서의 DFT-s-OFDM 송신기를 개시하고 있다. 상기 송신기는, M 개의 BPSK 심볼 벡터를 입력받아 L 개 - L은 M보다 작은 자연수임 - 의 부반송파를 사용하기 위해 프루닝된 DFT 매트릭스(pruned DFT matrix)를 사용하여 프리코딩하는 DFT 프리코더(여기서, 프루닝된 DFT 매트릭스는 로 표현되고, 여기서, i 및 j는 매트릭스의 행 및 열의 인덱스를 의미하며, 퓨리에 변환 함수의 분자 상의 인덱스 i와 관련된 컴포넌트에 (L-1)/2의 항을 포함함) 및 상기 프리코딩된 L 개의 심볼벡터들을 OFDM 신호로 변환하는 OFDM 변조기를 포함한다.

양식 수조의 청소장치

Washing apparatus for raising tank

• 출원번호

  10-2017-0111378

• 출원일

  2017-08-31

• 공개번호

  10-2019-0025201

• 공개일

  2019-03-11

• 등록번호

  10-1979833

• 등록일

  2019-05-13

원통형 수조 내부를 수압에 의해 청소하기 위한 양식 수조의 청소장치가 개시된다. 본 발명에 의한 수조의 청소장치는 원통형 형상으로 이루어지고, 양단면이 세워지도록 옆으로 뉘어진 상태로 고정되어 어류가 양식되는 수조를 청소하기 위한 장치로서, 상기 수조의 일단면에 고정된 프레임; 상기 프레임에 고정되어 구동력을 제공하는 구동부; 상기 구동부에 연결되어 구동력을 전달하는 동력전달부; 상기 프레임에 설치되고, 상기 수조 일단면의 중앙 부분에 일단이 상기 동력전달부에 연결되어 회전 가능하게 설치되며, 타단이 상기 수조 내측면 부근까지 연장된 회전레버; 상기 회전레버에 일단이 고정되고 타단은 상기 수조의 길이 방향을 따라 상기 수조의 타측면 부근까지 연장되며, 고압의 세척수가 일단으로 공급되고 상기 고압의 세척수가 토출되는 복수개의 토출구가 형성되어, 회전되면서 상기 고압의 세척수로 상기 수조 내측면을 세척하는 세척수 파이프;를 포함한다.

부력을 이용한 해저 탐사용 레이저 개폐장치

Opening and closing apparatus of a laser beam for exploring underwater using buoyancy

• 출원번호

  10-2017-0010628

• 출원일

  2017-01-23

• 등록번호

  10-1854635

• 등록일

  2018-04-27

본 발명은 해저 탐사용 레이저 장치에 구비되는 레이저 개폐장치에 관한 것으로, 해저 탐사를 위해 레이저 장치가 물속에 투입되는 경우 부력에 의해 상승되는 개폐부를 통해 레이저의 사용이 가능하도록 레이저 출사구를 개방시키고 레이저 장치가 물 밖에 위치하는 경우 탄성부재의 복원력에 의해 개폐부가 레이저 출사구를 폐쇄하여 레이저가 외부로 출사되지 못하도록 함으로써 사용자를 레이저로부터 안전하게 보호할 수 있는 부력을 이용한 해저 탐사용 레이저 개폐장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은, 물보다 작은 밀도를 갖는 소재로 이루어지며 레이저 유닛의 출사구 부분을 개폐하는 개폐부와; 상기 레이저 유닛의 수중 투입시 부력을 통해 개폐부를 상승시켜 출사구 부분을 개방하고 상기 레이저 유닛이 대기 중에 노출될 경우 개폐부를 원위치로 복귀시켜 출사구 부분을 폐쇄하도록 작동시키는 작동부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

아모디아퀸을 유효성분으로 함유하는 대사성 질환의 예방, 개선, 또는 치료용 조성물

COMPOSITION FOR PREVENTING, IMPROVING, OR TREATING METABOLIC DISEASES CONTAINING AMODIAQUINE

• 출원번호

  10-2016-0017960

• 출원일

  2016-02-16

• 공개번호

  10-2016-0100859

• 공개일

  2016-08-24

• 등록번호

  10-1668443

• 등록일

  2016-10-17

본 발명은 아모디아퀸(amodiaquine) 화합물 또는 이의 약제학적으로 허용 가능한 염을 유효성분으로 포함하는 조성물의 신규한 용도에 관한 것으로서, 구체적으로는 아모디아퀸 화합물 또는 이의 약제학적으로 허용 가능한 염을 유효성분으로 포함하는 조성물의 PPAR-γ(Peroxisome proliferator-activated receptor-gamma) 및 PPAR-α(Peroxisome proliferator-activated receptor-alpha)를 모두 활성화시키는 것을 특징으로 하는, 대사성 질환의 예방, 개선, 또는 치료 용도에 관한 것이다.